苛刻工藝的標準型
1.可達到200kL/min.
2.最適合大尺寸晶圓和FPD使用。
3.經得起各種工藝的考驗
*1) 也可提供小于20000L/min的小型泵
*2) 包裝尺寸因規格而異
*3) 關于國際標準的遵守情況，請聯系我們產品規格和名稱如有變更，恕不另行通知
